中古 BROOKS Reliance ATR #99634 を販売中

BROOKS AutomationBROOKS Reliance ATRは、半導体加工のための効率的で高スループットのウェーハ輸送を提供するように設計された自動ウェーハハンドラです。ウェハハンドラは、環境制御、自動化、統合された生産ラインでの使用を想定して設計されており、出力を最大化するための優れた速度と精度を提供します。Reliance ATRの主な特徴の1つは、ビジョンガイドウェーハ輸送とトレーサビリティの使用です。この自動化されたツールには4次元画像認識システムが搭載されており、ウェーハを正確に識別してピックアップすることができます。これにより、手動のアラインメントが不要になり、正確さを犠牲にすることなくスループットが大幅に向上します。画像認識システムは、パフォーマンスを追跡および監視するためにも使用され、ハンドラーはあらゆる異常をユーザーに検出して警告し、システム全体の精度と信頼性をさらに向上させることができます。BROOKS Reliance ATRは、400mmと200mmの両方のウェーハを並列に搭載することができ、他の互換ツールと組み合わせることで幅広い用途と生産性の向上を可能にします。また、ウェハハンドラは、統合されたデバイスハンドラを使用することで、ウェハーを1つのツールから別のツールにスムーズに移行し、人の介入を減らし、機械の生産性を向上させるように設計されています。上記の機能に加えて、Reliance ATRは、環境制御の向上、省スペースとメンテナンスのためのコンパクトモジュラー設計、一連の統合安全機能など、他の多くの利点を誇っています。BROOKS Reliance ATRは、操作が簡単なフレンドリーなユーザーインターフェイスと、詳細な分析とレポートを提供します。全体として、BROOKS Automation Reliance ATRは、スループット、精度、信頼性を向上させるために設計された革新的な自動装置であり、環境制御の改善、コンパクトな設計、簡単なメンテナンスを提供します。BROOKS Reliance ATRは、統合されたビジョンガイドウェハ輸送とトレーサビリティ、デバイスハンドラ、および統合された安全機能を備えており、自動半導体加工に最適です。