中古 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9160296 を販売中

ID: 9160296
Cassette elevator Right arm assembly.
BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6は、高度な機能と最先端のオートメーション技術を提供するウェハハンドラです。ウェーハハンドリングの生産性を向上させ、コストを最小限に抑え、多種多様な半導体ウェーハサイズとタイプの連続的な連続動作を可能にするように設計されています。BROOKS VCE 6ウェーハハンドラは、処理システム間でウェーハをロード、アンロード、転送することができ、完全な半導体オートメーションソリューションを提供します。PRI AUTOMATION VCE-6は更新されたフレームで設計されており、ハードウェアとモーション機能が向上しています。複数の自動自己整列ガントリー(ASAG)精密ロボットアームを搭載し、高いスループットで正確で信頼性の高いウェーハ処理を実現します。このシステムは、妥協のない精度で、25〜450 mmのさまざまなウエハサイズをサポートできます。さらに、VCE-6は効率的で強化されたモジュールレベル制御を提供します。各ロボットアームの自動動作はステップコマンドで正確に制御でき、1つ以上のロボットアームを仮想化して複数の場所に同時に存在させることができます。これにより、より迅速かつ効率的なウェーハ処理時間を実現します。PRI AUTOMATION VCE 6は直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、オペレータはハンドラを迅速かつ効率的に構成し、最適なパフォーマンスを得るために再構成することができます。ウェハハンドリングにはいくつかの異なるモーションコントロールレベルがあり、リアルタイムデータ収集を容易にするさまざまな機能があります。このデータは、問題を特定して迅速に解決するために使用できます。全体として、VCE 6は信頼性が高く効率的で高度に自動化されたウェーハハンドラであり、幅広いアプリケーションに適しています。その高度な機能とモーション機能により、精度、一貫性、連続動作が必要な高スループットプロセスに最適です。簡単なセットアップと操作により、BROOKS VCE-6は半導体自動化タスクの合理化に最適です。
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