中古 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9121532 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6は、ウェーハサイズ変更プロセス全体を簡素化および強化するために設計された高性能ウェーハハンドリング装置です。最小限の床面積を確保し、人員と工具の両方を保護する高度な安全機能を備えたコンパクトな設計を提供します。BROOKS VCE 6システムは、半導体製造施設での使用を想定して設計されており、8「-12」ウェーハまたは6「-9」ウェーハに対応し、ウェーハ洗浄、裏面処理、リソグラフィーシステムと互換性があります。PRI AUTOMATION VCE-6は、メインベースステーション、11ポジションディスクタイプのトランスポータ、およびリフトアセンブリで構成されています。メインベースステーションを使用すると、異なるウエハサイズと方向に対応するようにユニットを素早く設定できます。それはコントロールパネルを収容し、オペレータインターフェイスおよび指示のための表示を含み、他の自動化された装置およびサービスに接続するための入力そして出力を含んでいます。トランスポーターとリフトアセンブリが一緒に接続されているため、オペレータは自動的にウェーハをリフトに移動させ、ウェーハをつかみ、それをディスクに置くことができます。リフトアセンブリは、垂直輸送だけでなく、水平ウェーハの位置決めや傾斜角度調整が可能です。また、ウェーハ角度を変更するための反転モーターと、ウェーハの動きを制御するための精密モーターを内蔵しています。PRI AUTOMATION VCE 6には、トランスポーター内のジャムを検知するアンチジャムマシン、ベースステーション内およびトランスポーター内にある衝突を検知するセンサー、ウェハを誤って落下させる場合の自動落下センサー、外部のほこりや破片を最小限に抑えるためのインテリアエアカーテンなど、数多くの高度な安全機能が搭載されています。さらに、ウェーハ位置を正確に検出するために使用される自動ウェーハセンシングアセットを備えています。VCE 6は直感的でユーザーフレンドリーに設計されています。ウエハマップを表示するタッチスクリーン機能を備えた使いやすく直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、各ウエハに関する詳細情報を提供します。また、組み込みのユーザー管理とパスワード保護、ワークショップの統合とデータロギング機能も含まれています。これらの機能はすべて、高度な安全機能と組み合わされ、VCE-6は安全で効率的な半導体製造に理想的な選択肢となります。