中古 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9029314 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION VCE 6はウェーハハンドラであり、ウェーハアライメント、ウェーハバックリング、その他のウェーハハンドリング作業に使用される2次元MEMSモーション機能を備えた完全自動ウェーハレベルのデバイスです。BROOKS VCE 6は、高効率のステージデザインと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、指定されたエリア全体でさまざまなサイズのウェーハの移動を迅速かつ便利に管理できます。PRI AUTOMATION VCE-6は、ウェーハ処理の速度、精度、品質が重要な生産環境で使用するために設計されています。コントローラ、モーションコントロールカード、モーションコントローラを含む一連のコンポーネントで構成されています。コントローラには、ウェーハの動きを制御するためのPCベースの制御装置、データ、通信、およびその他の信号を処理するための機器が含まれています。モーションコントロールカードは、モーションコントロールに使用されるソフトウェアとハードウェアであり、システムのX軸とY軸に沿って滑らかで反復可能な2次元の動きを提供します。これにより、アンロードからローディング、バッファリングと調整まで、プロセスのすべてのステップでウェーハの正確で細かい位置決めとアライメントが可能になります。モーションコントローラは、ステッピングモータの駆動に使用され、正確で反復可能な位置制御を提供するだけでなく、高速ウェハハンドリング操作を実現します。BROOKS/PRI AUTOMATION VCE-6には、バックリング中にウェーハ上で発生する力を調整する機能や、その場でバックリング処理を監視および調整する機能など、高度なウェーハバックリングを可能にする機能も装備されています。さらに、PRI AUTOMATION VCE 6は、ユニットのモーションイベント、温度、圧力の包括的な制御と監視を提供するProgrammable Logic Controller （PLC）を搭載し、既存の製造プロセスに簡単に統合できるように設計されています。最後に、VCE 6には、緊急停止メカニズムやその他の安全対策など、エラーのない動作を可能にするさまざまな安全機能も含まれています。これらの革新的でよく設計されたコンポーネントを組み合わせることで、信頼性が高く、高速で正確な機械を作成し、ウェーハ処理作業に高性能なソリューションを提供します。