中古 BROOKS / PRI AUTOMATION TRA-048-SBI #9288509 を販売中
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ID: 9288509
ヴィンテージ: 1999
EFEM
DATALUX Touch screen interface
Frame
Robot rail
Hepa filter
Power distribution box
1999 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION TRA-048-SBIは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される薄型ウェーハを安全かつ正確に操作するために使用されるウェーハハンドラの一種です。BROOKS TRA-048-SBIウェーハハンドラは、半導体エンジニア向けの高性能で費用対効果の高いオートメーションソリューションです。本番環境での薄型ウエハの正確で再現性のある信頼性の高い取り扱いを提供します。PRI AUTOMATION TRA-048-SBIは、直径最大8インチ(200mm)の薄いウェーハを取り扱うように設計されています。2軸ジンバルヘッドを採用しており、ウェーハの正確な位置決めとハンドリング時の転位を防止します。このヘッドには独立した調整可能な引張り装置があり、反復可能で信頼性の高い性能を保証し、ウェーハの傷を防ぎます。さらに、ウェハハンドラは低振動サーボ駆動のZ軸を備えており、誘導振動を最小限に抑え、ウェハの損傷を防ぐように設計されています。TRA-048-SBIは、ウェーハを自動的に検出し、加工されていないものと加工されていないものを区別する高度なセンシング技術を持っています。この高度な機能は、ロボットの状態にフィードバックをユーザーに提供し、薄いウェーハの誤解を防ぎます。高度なソフトウェアには、システムのパフォーマンスを最適化し、悲惨な結果を回避するための多くの安全パラメータも含まれています。BROOKS/PRI AUTOMATION TRA-048-SBIは、すべての標準的なロボットオートメーションシステムと互換性があります。また、ユニットパフォーマンスとユーザーの利便性の両方を向上させるために、ウェーハキャリアアセンブリやウェーハレセプタクルなど、多数のアクセサリーも用意されています。BROOKS TRA-048-SBIウェーハハンドラは、全体的に洗練された効率的で費用対効果の高い薄型ウェーハ処理ソリューションです。これは、望ましくない振動とウェーハ損傷の可能性を低減しながら、生産の信頼性を向上させるように設計されています。センシング機能は、薄型ウエハを最大限の精度と注意で処理するために、いくつかの安全パラメータとともに高度な機能を備えています。このウェハハンドリングマシンは、さまざまな半導体関連の業界にとって理想的なソリューションです。
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