中古 BROOKS / PRI AUTOMATION Series 8 #9298263 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION Series 8は、研究および産業用の両方で手動または自動化された操作用に設計された多機能ウェハハンドラです。直径2〜18インチのウェーハに対応し、フィーダー、ソート、ロード、アンロード、カセット使用など、さまざまなニーズに対応できます。BROOKSシリーズ8は柔軟性を提供し、容易な取付けおよび維持を可能にする革新的な、モジュラー設計を特色にします。その先進的なモーターと精密誘導システムは、正確な角度で一貫した正確なウェーハの動きを提供します。また、ウェーハの安全な処理を保証し、手動ハンドリングの必要性を排除する内蔵のロードロック装置を内蔵しています。PRI AUTOMATION Series 8は、真空センサー、エンコーダ、エッジ検出、温度センサーなど、さまざまなセンサーを搭載し、ウェーハの位置、圧力、温度を監視します。これにより、ウェーハを損傷することなく適切に処理および処理することができます。このユニットには、タッチスクリーンHMIとアラームマシンが内蔵されており、パラメーターの迅速で簡単な監視と調整が可能です。シリーズ8には、緊急停止ツール、パワーオフ保護、スプライシングおよびリフティングリミッター、プロセスの開始/停止検証などの包括的な安全機能が含まれています。また、EMC、 CE、 ISO、 RoHSなどのさまざまな環境要件も満たしています。結論として、BROOKS/PRI AUTOMATION Series 8は、研究環境と産業環境の両方で使いやすく効率的な幅広い機能を提供する高度なウェハハンドラです。モジュラー設計、包括的な安全機能、高度なセンサーにより、正確なウェーハ処理を保証し、安全で信頼性の高い環境を提供します。