中古 BROOKS / PRI AUTOMATION Reliance ATR / Series 8 #128312 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION Reliance ATR/Series 8ウェーハハンドラは、半導体業界で利用可能な最先端の自動マテリアルハンドリングシステムの1つです。ウェーハハンドラーは、非接触プロセスと接触プロセスの両方を完全かつ正確に制御し、最高の精度で製品を保証します。ダイベースソート、ボンディング、検査、計測、組立など、中小規模のウェハベースの幅広いアプリケーションに適しています。BROOKS Reliance ATR/Series 8 Wafer Handlerは、あらゆるサイズのカスタムアプリケーションに簡単に対応できる柔軟なセルトポロジで設計されています。制御装置は、カスタムのロボット制御ステーションハードウェアとグラフィックユーザーインターフェイス(GUI)を使用しています。この組み合わせにより、ユーザーはユニークなアプリケーション要件のためにパラメーターで素早くプログラムすることができます。さらに、Wafer Handlerはフル機能のOPCサーバ機能、高度な動作機能、多数の安全機能および診断オプションを備えています。また、ウェーハハンドラーは真空フォースリフトを使用しており、非接触オートメーションアプリケーションに特に便利です。このリフトシステムを使用すると、ウエハプレーン内で部品を一点に置換し、製品との一貫した接触を維持できます。ウェーハハンドラーの多軸モーションコントロールユニットは、動作中の非常に低い衝撃と振動で精密な動きを可能にします。ウエハハンドラはスピン速度を変化させることができ、ウエハハンドリング時の再現性の高い精度を実現します。レンダラーに内蔵されているため、ウェーハデータをリアルタイムで可視化でき、ウェーハ処理に関連する複雑な機械の動きをよりよく理解できます。このツールには、簡単な資産通信のためのイーサネット、USB、またはシリアルインターフェイスも含まれています。これらの機能を組み合わせることで、PRI AUTOMATION Reliance ATR/Series 8ウェハハンドラはウェハベースの生産に最適です。
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