中古 BROOKS / PRI AUTOMATION PRE-300 #293795355 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION PRE-300は、クリーンルームのオートメーションで使用するために設計されたウェハハンドラです。通常、半導体ウェーハのエッチング、蒸着、拡散などのプロセスを輸送、整列、実行するために使用されます。このウェハハンドラは、直径3インチの堅牢なマイクロエレクトロニクスウエハを確実に処理できる精密デバイスです。このデバイスには統合ビジョンシステムとレーザーアライメントシステムが装備されており、ウェーハの適切な向きと正確な位置決めを保証します。このウェハハンドラは、ウェハローディングとアンロード機構を収容するステンレススチールフレームで構築されています。フレームには3軸ロボットアームが取り付けられており、放射状と線状の両方の方向に移動することができます。アームのエンドエフェクターには、ウェーハを把握して安全に動かす真空チャックが装備され、統合ビジョンシステムにより適切な位置決めとアライメントが保証されています。ウェーファーハンドラーには、動作パラメータを監視するさまざまなセンサーが搭載されています。温度、圧力、振動センサーなどがあります。このデータは、システムのすべてのパフォーマンスを監視するために収集および分析されます。システム全体は、統合ビジョンシステムと高度な自動化を提供する独自のソフトウェアスイートによって制御されます。BROOKS PRE-300は、クリーンルーム操作用に設計されており、粒子発生、ほこり、およびその他の潜在的な汚染物質を最小限に抑えるように設計されています。CEに準拠しており、関連するすべての安全基準を満たしています。PRI AUTOMATION PRE-300は、信頼性の高い効率的なウェハハンドラです。ウェーハを正確に整列させて実行することができるため、あらゆる製造設備に優れた付加価値があります。幅広いウェーハサイズに対応できる精密ウェーハンドラーをお探しのオペレータに最適です。