中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 700 #89978 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 700は、半導体生産アプリケーション向けに設計された自動ウェハハンドラです。この装置は、最も困難な環境での高いスループット、低サイクルタイム、および信頼性の高い動作が可能です。この自動ウェーハハンドラは、容量の増加やプロセス要件の変更時に最大限の柔軟性を可能にするモジュラー設計で構築されています。このシステムの中心には、自動ウェーハ処理ユニットがあります。ウエハカセットの出し入れ・出し入れが可能で、精度と信頼性に優れています。ロボットアームは高速サーボモータを使用し、高速かつ正確な移動を実現します。ロボットアームは顧客の要求に従ってまたカスタマイズ可能です。BROOKS MX 700は、自動化された光学アライメントとフィードバック認識を使用して、ウェーハをインラインで処理するプロセスを自動化します。これにより、汚染のリスクが低減され、手動による推測と処理の調整に必要な時間が最小限に抑えられます。自動化により、プロセスのサイクルタイムも短縮され、大幅な時間短縮が可能になります。PRI AUTOMATION MX-700は、ウェーハの取り扱い損傷を防ぐためにいくつかの安全機能を備えています。これは、オペレータに怪我をすることなく、プロセス全体が完了することを確実にするための組み込みの安全ツールを備えています。衝突検知機能と調整可能なピックアップ力により、ウェーハの損傷リスクも低減します。PRI AUTOMATION MX 700は、簡単なプログラミング、操作、および追跡のためのデータロギングを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。また、画像処理や複雑な機能のためのグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。この資産は、プロセス全体を監視するためのデータロギングとレポート作成が可能です。MX 700ウェハハンドラは、幅広いウェハハンドリングプロセスに適した自動化モデルです。それは顧客の要求に従ってカスタマイズ可能である使いやすい装置の高性能、信頼性および安全特徴を提供するように設計されています。