中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 600 #79344 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600は、半導体製造、フォトリソグラフィ、航空宇宙部品などの超クリーン生産アプリケーション向けに特別に設計されたウェーハハンドリングソリューションです。BROOKS MX 600は、最も脆弱なウェーハでも取り扱うことができ、ウェーハ基板を可能な限りクリーンかつ効率的に正確かつ安全に輸送できます。PRI AUTOMATION MX 600ウェーハハンドラは、製造およびフォトリソグラフィープロセスで一般的に使用されるウェーハ基板のための非常に一貫した輸送ソリューションを提供するように設計されています。この統合機器は、処理中のモーションとアライメントのエラーを低減しながら、汚染を低減するように設計されています。MX 600は、優れた再現性、精度、および性能を提供するように設計されており、精密なハンドリング操作に依存する生産アプリケーションに最適なソリューションです。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600ウェハハンドラは、上下ウェハトランスポートステージ、上下搬送ステージグラバー、上下搬送アーム、圧力プレート、高さ調整機構で構成されています。ベクターベースのフィードシステムにより、さまざまなサイズのウェーハ基板に対応し、搬送段階でのスリップやチャッターを大幅に低減できます。BROOKS MX 600は、デュアル独立した高速サーボドライブを備えており、迅速かつ正確なハンドリング操作を可能にし、効率を最適化し、ダウンタイムを最小限に抑えます。強力な機械的機能に加えて、PRI AUTOMATION MX 600は、精度を確保し、パフォーマンスを最適化するいくつかの統合された電子機能も提供しています。MX 600は、ドライブとトランスポートアーム間の正確な位置情報の伝送を可能にする絶対エンコーダを備えています。これにより、搬送面に沿ってウェーハの位置を正確に決定することができます。さらに、自動ウェーハセンタリング、ウェーハエラー検出、および最適なパーティクル制御を容易にするためのBROOKS Vacuum Access Unit （VAS）との統合などの機能が統合されています。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600は、超クリーンな生産アプリケーションで動作するように最適化されています。すべての露出された表面は最大の粒子制御を提供するように設計されており、その機械的動きは動作中の環境への影響を最小限に抑えるために周囲環境から隔離されています。BROOKS MX 600は6軸ハンドリング操作が可能で、汎用性が高く、様々な生産システムへの統合が可能です。また、CEおよびRoHS認証を取得しており、製品が適用されるすべての安全および環境規制を満たしていることを保証します。全体として、PRI AUTOMATION MX 600ウェハハンドラは、超クリーンな生産アプリケーションにおけるウェハハンドリングのための先進的なソリューションです。正確かつ一貫した処理性能を提供することができ、輸送フェーズ中の汚染、モーション、アライメントエラーを大幅に低減できます。MX 600は、脆弱なウエハ基板の信頼性の高い転送に依存する製造プロセスに理想的なマシンです。