中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9308897 を販売中

ID: 9308897
Robot P/N: 001-7600-02 Transfer arm, 8".
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5 Wafer Handlerは、クリーンルームおよび半導体処理のための薄いウェーハを処理するように設計された業界をリードする製品です。クリーンルームからプロセス、背面へのウェーハの手動転送を含む、ウェーハのロボット搬送と取り扱いが可能な完全自動化システムです。BROOKS MTR 5ウェーハハンドラーは、クリーンルームおよび半導体加工に使用するために設計されています。他のウェハハンドラシステムと連携して、複数の同時構成と動作を行うことができます。高いスループットと効率に焦点を当てたソリューションに最適です。BROOKS/PRIウェハンドラーは、効率を最大限に高めるために設計されたさまざまな機能を提供します。その合理化された設計は、2つの自動車用ウェーハステージングとロボットアームで構成されています。最初のアームでは、クリーンルームから処理エリア、およびその逆にウェーハを手動で搬送できます。2つ目のアームは、マシンスロットへの準拠したウェーハの自動搬送とローディングを提供します。PRI AUTOMATION MTR5 Wafer Handlerは、適切なソフトウェアを使用して複数の操作を制御します。このソフトウェアは、ウェーハステージング、プロセス、ロボットアームを監視および管理するために設計されています。さらに、ユーザーはウェーハ処理プロセスの速度と速度を制御することができます。MTR 5ウェーハハンドラの空気圧支援ドライブシステムは、ウェーハのスムーズで制御されたハンドリングを提供するように設計されています。ロボットアームは、マシンスロット内の正確なウェーハ配置を確保するためにアーティキュレートします。さらに、アームの空気圧操作は、ウェーハの欠陥を正確に評価および分析するように設計されています。PRI AUTOMATION/PRI MTR5 Wafer Handlerは、ウェーハ処理の効率を最大限に高めるための高性能で費用対効果の高いソリューションです。その合理化された設計と独自のソフトウェアにより、ウェーハをスムーズかつ正確に機械に転送してロードできます。空気圧支援ドライブシステムは、高速で静かで制御された動作を保証します。BROOKS MTR5ウェーハハンドラーは、ウェーハハンドリングのピーク性能を求める方に最適なソリューションです。
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