中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5ウェーハハンドラは、半導体、ディスクドライブ、およびその他の関連産業で使用される高精度の機器です。プロセスチャンバ間でシリコンウェーハを正確かつ迅速に移動および位置決めするように設計されています。これは、オペレータがチャンバーに入る前にウェーハのアライメントをダブルチェックできる検査ウィンドウを備えています。BROOKS MTR 5は、3Dロータリーダイヤルと容量性タッチスライダーコントロールを備えたマルチタッチコントローラで動作します。2つの精密リニアガイドと、高い再現性と位置精度を備えたプリアライメント装置が含まれています。自動化されたオペレータ制御システムと組み合わされたこれらの機能により、装置はウェーハを正確かつ一貫してプロセスチャンバーに移動し、スループットを向上させ、手動ハンドリングエラーによるダウンタイムを排除できます。PRI AUTOMATION MTR5は、最大32種類のウェーハアライメントハイトとピックアップポイントでプログラムすることができ、複数のウェーハサイズを扱う場合に非常に柔軟性があります。最大ウエハ径200mm、ウエハプラットフォームサイズ305mmです。このウェハハンドラは、他のMTRシリーズのウェハプロセスアクセサリと組み合わせることで、高機能なウェハハンドリングおよびプロセスツールユニットを作成できます。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5は、ウェーハ搬送とプロセス処理の両方を1つのユニットで行うために設計されています。ウェーハアーム、モバイルロボット、機械制御が含まれており、すべてがプロセスチャンバーにウェーハを正確に堆積させるために協力しています。ウェハピックアップとデリバリーはロードポートを介して行われ、Excentricロックツールで固定されます。PRI AUTOMATION MTR 5にはプログラム可能な真空ポンプが装備されており、ローディングポートに到達する前にウェーハを便利に真空化することで処理時間を短縮します。独自のセルフスライド設計により、BROOKS MTR5はメンテナンス中にチャンバーに素早く簡単にアクセスできます。より高いレベルの安全性を確保するために、MTR5には、ウェハハンドリングアセット内のすべてのロボットを停止する中央に配置された安全スイッチが含まれています。この追加機能により、生産性とプロセス能力が安全かつ効率的に向上します。この自動化されたオペレータ支援ロボットウェーハハンドラは、オペレータの影響を最小限に抑えたプロセスチャンバーのトラブルフリー動作を可能にするように設計されています。