中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、ユーザーが幅広いウェーハ処理を実行できるロボットウェーハハンドラです。25mmから300mmまでのウェーハ径と、10mmまでのウェーハ厚の取り扱いに適しています。ハイエンドCCD（チャージカップリングデバイス）ビジョンシステムとロボットアームを組み合わせ、ウェーハの正確なアライメントと位置決めを可能にします。このハンドラは、PRIまたはBROOKS Ambassadorのフロントエンドプロセッサと統合でき、追加モジュールのオプションを使用できます。高度なパターン認識を必要とする操作には、ウェーハアライメント装置（WAA）モジュールを追加することができます。このモジュールは、ウェーハの大部分に存在するさまざまなアライメントマークを識別、チェック、および処理するために特別に設計されています。デバイス内のコンベアベルトは、ロボットハンドラの製品領域内でウェーハを移動させ、必要な場所に正確にウェーハを配置します。トランスポートユニットは最大600mm/sの速度に達することができ、短時間で高い転送を可能にします。このコンベアはまた、帯電防止機能を備えており、ウェハを悪影響から保護します。このハンドラは、エンドユーザーに詳細な画像を提供する単一の大判カメラを使用します。この画像は、パターンアライメントマークの認識やバーコードの読み取りに使用されます。これにより、ユーザーはウェーハの位置と向きを確認するために視覚的に検査する必要がなくなり、手動検査プロセスで貴重な時間を節約できます。ハンドラーの制御機械は4つのタッチ画面のモニターによって囲まれるBeckhoff PLCで構成されます。ユーザーインターフェイスは直感的で、ハンドラの動作をカスタマイズするための幅広いパラメータをユーザーに提供します。ロボットの動きが調整された限界内にとどまるように動作条件を設定することができます。PROGRAMをメモリに保存することができ、ユーザーは一般的なウェーハ処理操作のためのプログラムにすばやくアクセスして実行することができます。さらに、BROOKS MTR 5は、他の機器やコントローラのネットワークに直接接続することもでき、デバイスと外部ソース間の迅速なダット交換と通信を可能にします。これにより、効率的なデータ共有とツール監視が可能になります。その強力な技術力とともに、PRI AUTOMATION MTR5が主要な自動ウェーハハンドラの1つと見なされている理由を簡単に理解できます。