中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、リソグラフィおよび薄膜蒸着プロセスで使用されるウェハハンドラです。BROOKS MTR 5は、単一または複数のウェーハの正確な位置決めと転送を可能にする精密機器です。PRI AUTOMATION MTR5は、直径5インチ、厚さ0。3インチまでのウェーハに対応でき、最大3つのウェーハを一度に処理できます。PRI AUTOMATION MTR 5はオープンフレームアーキテクチャ上に構築され、組み込まれたオペレーティング機器を備えています。システムはコントローラユニット、入力インターフェイス、低レベル制御モジュール、モータドライバで構成されています。これらの各コンポーネントは、互いに相互作用し、ユニットに必要な機能を提供するように設計されています。コントローラーユニットはBROOKS MTR5の運用を担当しています。4軸ジョイスティックコントローラ、ウェーハX、 Yテーブル、ステアリングホイールで構成されています。コントローラからの入力は、ウェーハテーブルの動きを制御するために使用されます。入力インターフェイスはキーボードとトラックボールを備えたタッチスクリーンインターフェイスです。これにより、ユーザーは自動化されたプロセスを設定し、マシンのパラメータを変更することができます。コントローラはまた、ウェーハハンドラのリアルタイム制御を担当する低レベル制御モジュールからの入力を受け取ります。ウェーハサイズ、ウェーハモーション速度、ウェーハハンドリングクランプ力、位置精度、ウェーハ転送速度、ウェーハハンドリングタイミング精度などのパラメータを指定することができます。モータードライバーは、ツールの最後の部分であり、実際にウェーハを動かし、処理のためにそれを配置するユニットです。ステッピングモーター、デジタル軸コントローラ、ドライブベルトで構成されています。デジタルアクシスコントローラはモータのリアルタイム制御を担当しますが、ステッピングモータはウェハの精密位置決めと動きに使用されます。ドライブベルトは、ウェーハを所望の経路に沿って移動する責任があります。MTR 5は、高精度なウェーハの位置決めと転送を可能にする高性能アセットです。短距離での高速かつ正確なウェハ転送を可能にするよう設計されており、半導体製造に最適です。複数のウエハーを同時にサポートし、生産中にウェハーを安全に取り扱うために必要な制御と安全チェックを提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5は、ウェーハ処理における最大限の効率とスループットを提供するように設計された信頼性の高い効率的な装置です。