中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064564 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、自動半導体製造事業で使用されるウェハハンドラです。このツールは、ウェーハの生産作業中にウェーハを処理する際に最大限の性能、生産性、効率を得るために設計されています。BROOKS MTR 5は、シングルトラック上で最大2つのウェーハが可能で、ウェーハの迅速な取り扱い、位置決め、および正確な制御を提供するように設計されています。PRI AUTOMATION MTR5は、ソフトウェアとモーションコントロールをプログラミングして、ユーザーの個々のニーズに合わせてカスタマイズし、一貫した再現性のあるウェーハ処理プロセスを提供します。ユーザーはさまざまなウェーハサイズと厚さを設定でき、BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5はそれぞれの処理速度を自動的に調整します。このツールは、ウェーハの進歩、整列、運転、スキャン、およびウェーハの逆転など、さまざまなウェーハ動作にも対応しています。PRI AUTOMATION MTR 5の堅牢でフル機能を備えた設計は、頑丈なフレーム設計により、モーションコントロール性能の向上と長寿命を実現します。コンパクトな設計は、生産作業で最小限のスペースを使用します。さらに、メニューモード表示とアイコンベースのナビゲーションシステムを備えた直感的なユーザーインターフェイスにより、MTR 5はユーザーフレンドリーで操作が簡単です。BROOKS MTR5は、ハンドラー内の回転ウエハから人員を保護するための外部ドアインターロック保護付きエアパージなどの標準的な安全機能を備えています。また、取り扱い中のウェーハの誤動作や破損を防止する自動ウェーハローダー/アンローダー機能も搭載しています。ユーザーはまた、オプションのトレーサビリティシステムでMTR5のパフォーマンスを監視する機能を持っています。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、自動半導体製造工程でウェーハを処理するための信頼性の高い耐久性の高いソリューションを提供します。このツールは、堅牢な設計とインテリジェントな機能により、より高いレベルの生産性、精度、およびプロセスの信頼性を提供するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと追加の安全機能を備えたBROOKS MTR 5は、半導体製造工程での最高性能に最適です。
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