中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064563 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5ウェーハハンドラーは、半導体ウェーハを正確に輸送、位置付け、並べ替え、挿入するために半導体業界で使用される先進的なロボットハンドリング装置です。ウエハーの蓋を自動的にロードし、トレイ、コンテナ、チューブ、またはウエハボックスに包装するようにプログラムされています。ウェーハハンドラには、ウェーハを所望の場所に運び、配置するための高度なロボティクスが装備されています。5軸の動きを備え、正確なアライメントと高速で円形と平らなウェハを転送することができます。ロボットのアームは、2つの線形ステージと3つの回転ステージを使用して、ウェーハを正確に移動および配置します。また、最大4つのウェーハを同時に処理することもできます。BROOKS MTR 5 Wafer Handlerはまた、ウェーハの正確な位置決めとソートのための正確なピックと配置ツールを提供します。ピックアンドプレイスツールは、直径検出軸を備えた2つの真空パッドを使用しており、ウェーハの位置とピッキング時に正確な精度を提供します。また、ウェーハの積み降ろし時の精度を向上させる自動アライメント機構も備えています。ロボット機能に加えて、PRI AUTOMATION MTR5 Wafer Handlerは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、オペレータは自動レシピでウェーハハンドラーをプログラムできます。レシピプログラミングは、プロセスが効率的で反復可能であることを保証するのに役立ちます。このインターフェイスはまた、処理中のウェーハの現在の状態を示す直感的なダッシュボードを表示し、必要に応じてレシピを一時停止、停止、または変更することができます。また、MTR 5ウェーハハンドラーはサードパーティ製の機器をサポートしており、他の工業生産ラインとの柔軟性と互換性を高めています。さらに、ウエハハンドラにはビジョンシステムが付属しており、リアルタイムのエラー訂正が可能で、ユニット調整や手動検査の必要がありません。MTR5 Wafer Handlerは、半導体ウェーハに安全で効率的なハンドリングソリューションを提供するように設計されています。それは耐久部品と造られる信頼でき、堅牢な機械で、半導体業界の適用のための正確で、反復可能な用具を提供します。その高度な機能、直感的なプログラミング、正確さ、柔軟性により、効率と歩留まりを最大限に高めるために探しているあらゆる生産設備に最適です。