中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、保証されたウェーハアライメント、完璧な真空ホールド、迅速なウェーハスワッピングを必要とする高精度アプリケーション向けに設計された、ユニークなウェーハハンドラです。完全に統合された5軸ジンバルスタイルのプラットフォームを備えており、ウェーハメトロロジーおよび光学システムとのインターフェースを可能にするように設計されています。このロボット機器は、様々なアプリケーションのための構成の広い範囲で、ステップと繰り返し機能、傾きと標高を提供しています。特許取得済みのアライメントプリズムと3次元ビジョンシステムの両方を利用して、あらゆるタイプのウェーハを正確かつ再現可能に配置します。BROOKS MTR 5ウェハンドラは、ロボット、ウェハホルダー、真空チャンバーの3つの主要コンポーネントで構成されています。このロボットは、高い反復性と正確性を兼ね備えており、正確かつ正確なモーションコントロール動作が可能です。最大速度は60°/秒、位置精度は40ミクロン以内です。このロボットには、ESD保護、空圧、光学センサー、環境制御などの幅広い外部アクセサリが装備されています。PRI AUTOMATION MTR5の真空ハンドリングユニット（VHS）には、ダイピックアップとアライメント用のモーター式のデュアルゾーン真空チャンバーが含まれています。VHSは、ウェーハ中心から0。5mmの半径で正確な回転とダイのアライメントを実現します。インテークチャンバーは、最適な吸引を確保するために、個々のウエハサイズに最適化されたいくつかのノズルを備えています。搬送時にウェーハを保持するウェーハホルダーは、あらゆるアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズできます。さらに、ウェーハホルダーは、さまざまなタスクのために素早く変更することができます。最後に、BROOKS MTR5には、シーケンスプログラミング、HMI、ユーザーインターフェイス、およびオンラインプロセス制御を含む完全に統合されたドライブ/制御マシンを備えたS6 Edgeコントローラが付属しています。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンは、ロボットの操作を大幅に簡素化し、スムーズな操作とプロセス制御を容易にします。