中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #178989 を販売中
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ID: 178989
Vacuum robot and arm set
Arm set configured with 8" wafer end-effectors
(1) end-effector: Kalrez pads, stainess steel pads for >300C hot wafer handling.
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、ウェーハのローディング、テスト、および出荷作業を調整するために設計された高速、高精度のウェーハハンドラです。直感的なオペレータインターフェイス、堅牢なサーボ制御ムーブメント、その他の機能を備えています。BROOKS MTR 5は、高速かつ正確なウエハハンドリングのための完全自動ダイピッキング装置を採用しており、毎分最大100個の速度に達することができます。このシステムは高精度で、0。3mm+/-の厳しい公差を可能にします。ピッカームーブメントはサーボ制御されており、2つの独立した位置決め可能な高精度クロスローラーと中央サポートプレートを使用しています。この配置により、柔軟性と精度が高く、ウェーハ処理時の安定性が向上します。PRI AUTOMATION MTR5には、ウェーハのローディング、テスト、出荷を制御および監視するための多数の自動機能が含まれています。センサー制御によるダイソート、アダプティブダイ配置、デュアルポジションアライメント、選択的ダイ初期化、自動供給などがあります。各操作は、PCベースのオペレーティングユニットとEtherNet/IP診断モジュールを備えたAllen Bradleyコントロールによって監視されます。これにより、リアルタイムのパフォーマンスのフィードバックと迅速な障害検出が可能になります。MTR5は堅牢で信頼性の高い設計です。そのコンポーネントは最大のアップタイムのために設計されており、最小限のメンテナンスが必要です。機械全体は、接地の必要性を排除するだけでなく、より高い安定性とサポートを提供する堅牢で粉体塗装された押出アルミニウムフレーム上に構築されています。ベルト駆動工具は、耐久性と信頼性を高めるために最大1200°Fまで熱処理された高級鋼で構築されています。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5には、ハンドリング機能とドライブ機能の両方に対応する強力で効率的なエアアセットが装備されています。この効率的で静かなエアモデルにより、メンテナンスコストがさらに削減され、BROOKS MTR5の費用対効果が高くなります。最後に、装置には、ダイハンドラーとの偶発的な接触を防ぐ高度な安全インターロックが装備されており、オペレータと製品の両方を保護します。PRI AUTOMATION MTR 5は、スピード、精度、安全性、信頼性を提供するオールインワンウェーハハンドリングシステムです。コンピュータ制御、直感的なユーザーインターフェイス、高度な安全機能により、ウェハローディング、テスト、出荷操作に最適です。
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