中古 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #121470 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5は、プロセスチャンバーからウェーハをロード/アンロードしたり、検査システムからウェーハを転送したり、異なるツールモジュール間でウェーハフレームを転送するなど、ウェーハ処理に使用するために作成された単一のウェーハハンドラです。BROOKS MTR 5はロボットベースのシステムで、一連の電動ステージに依存しており、人間の腕のように瞬間的に動かして意図された機能を実行することができます。その多軸運動は、柔軟に定義されたスペースで複数の操作を実行するのに特に適しています。これは、リニアドライブやさまざまなセンサーなどの最先端の技術を使用して、正確で信頼性の高い動きを保証します。モーションコントローラは動的で信頼性の高い操作も可能です。PRI AUTOMATION MTR5は、さまざまなウェーハフレームと互換性があるように設計されており、迅速なウェーハソート、ローディング、およびアンロードのために最大5つの異なるカセットサイズを処理できます。モジュール設計のため、必要に応じてさまざまな機能を追加または削除できます。これには、ホットスワップ可能なカセット、複数のステーションストップ、オートステージ機能、およびデュアルグリッパー操作が含まれます。ユーザーインターフェイスにより、MTR 5は特に使いやすく、ユーザーはさまざまなレベルの制御を使用してさまざまな操作やシーケンスを設定できます。カスタムシーケンスもプログラムすることができ、ユーザーは特定の操作の実行方法をより制御することができます。ロボットのコントローラーはまた、ユーザーがその動きの速度と加速度を設定することができ、ウェーハ処理操作の問題を迅速に特定して解決するために使用できる監視およびトラブルシューティングツールの範囲が含まれています。MTR5には、安全で信頼性の高いウェハハンドリングを保証する多くの追加機能があります。これらには、空中粒子制御、急速シャットダウンオペレータと制御、Eストップセンサー、および内蔵の衝突検出が含まれます。このシステムはまた、ツールが損傷しているか、またはその寿命の終わりに近いときに検出できるツールの安全監視を提供します。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5は、ウェハハンドリングと転送のプロセスを簡素化するように設計された、高度で信頼性の高いウェハハンドラです。モジュール設計、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、包括的な安全監視システムにより、さまざまな生産要件やアプリケーションに適応できます。