中古 BROOKS / PRI AUTOMATION M1900 #293607356 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION M1900は、半導体業界の最も厳しい要件を満たすように設計された高性能のモジュール式ウェハハンドラです。BROOKS M1900は、信頼性の高いエアベアリングドライブシステムを搭載し、ウェーハの負荷/アンロードとプロセスステーション間の高速で正確な遷移を提供します。PRI AUTOMATION M1900は、柔軟なウェーハチャンバー設計により、複数のウェーハをさまざまなサイズで保持することができます。この柔軟性により、複雑なツール構成、迅速な切り替え、究極のスループット・パフォーマンスが可能になります。M1900の人間工学に基づいた設計は、ユーザーの疲労を最小限に抑え、メンテナンスと保守のための部品への容易なアクセスを容易にします。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION M1900は、機械的および電気的機能の両方のための高度な制御技術を備えています。高度なウェーハID認識や自動ベルトのエンドオブキャリブレーションなどの電気的機能は、直感的なメニュー駆動のタッチスクリーンインターフェイスによって制御されます。オンボード診断と品質管理チェックにより、高精度と信頼性が保証されます。堅牢で信頼性の高いエアベアリング駆動システムにより、BROOKS M1900は長距離を急速に横断する能力を備えています。最適なスループットを実現するには、複数のプロセス間でウェーハを素早く移動させる機能が不可欠です。この機能は、衝突を回避し、スムーズな動作を維持するために、動きを自動的に監視および変更するスマートセンサーでさらに強化されています。PRI AUTOMATION M1900は、半導体ウェーハ製造プロセス内の材料の制御に最適です。高度な制御技術と耐久性のあるエアベアリング駆動システムにより、M1900は優れた性能と優れた価値を提供します。それは柔軟性であり、耐久性は滑らかな、信頼できる操作、また優秀な性能を保障します。