中古 BROOKS / PRI AUTOMATION M 700 #47857 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION M 700ウェーハハンドラーは、半導体生産におけるウェーハ処理の効率と生産性を向上させるために設計された、完全に自動化された信頼性の高いロボット材料処理装置です。このシステムは、上流装置と下流装置の間でウェーハやその他の壊れやすいコンポーネントを自動的に安全に輸送するように設計されており、特定のアプリケーション用にユニットをカスタマイズするための高度な柔軟性を提供します。最大厚さ1。5mmの2インチから8インチまで、さまざまなサイズのウェーハを取り扱うことができます。ステンレススチールフレームを採用し、正確なウェーハの位置決めと向きのための精密加工ステージと、ウェーハを取り扱うグリッパーハンドを備えています。ウェーハハンドラは、マスフローコントローラ、チャンバー圧力コントローラ、レーザーマーキングシステムなどの他の加工機器と統合してプロセスを制御および監視することができます。さらに、このアセットには、材料の積み下ろし時のボイドを低減するフィリップス導波路技術が搭載されており、信頼性が高く効率的な運用が可能です。このモデルには、任意の問題または異常をオペレータに通知するためのカスタマイズ可能なアラームとエラーメッセージも含まれています。BROOKS M 700 Wafer Handlerは、ウェーハを積み重ねてバッファする機能を備えており、さまざまなウェーハ処理作業においてシームレスな自動化を実現します。装置はまた容易な維持および性能の改善を可能にするモジュール構造と設計されています。全体として、PRI AUTOMATION M700 Wafer Handlerは多目的で信頼性の高いシステムであり、半導体処理に大きな改善をもたらすことができます。