中古 BROOKS / PRI AUTOMATION M 600 #121468 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION M 600ウェーハハンドラーは、脆弱な半導体ウェーハの迅速で正確なソートと処理を可能にするように設計された精密自動化装置です。このシステムは、カセットからウェーハを選別、回転、整列、ピックアップし、ウェーハを工作機械に移して配置し、複数の保護箔を自動的に適用して校正するなど、幅広い作業を行うことができます。このユニットはモジュラー構造で設計されており、ロータリーハンドリングロボット、2つのロボットアーム、およびウェーハの転送と配置機を備えたベースステーションを備えています。2台のハンドリングロボットには2台の独立駆動真空ピックアップが装備されており、最も近い公差でもウェーハを素早くロードおよびアンロードすることができます。2つのロボットアームは完全な精度と安定性で移動し、ウェハを移動ステーションと工作機械の周りに配置、回転、移動します。ウェハトランスファーアライメントツールは、すべてのウェハが工作機械に配置される前に正確に配置されていることを保証し、ウェハ保護アセットは、搬送ステーションを通過した後に各ウェハに耐久性のある粘着フィルムコーティングを自動的に適用します。BROOKS M 600 Wafer Handlerは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、人間工学に基づいたデザインで使いやすくなっています。自動メンテナンスやリモートコントロールなど、さまざまなオプションも利用でき、生産効率がさらに向上します。このモデルは、200mmから300mmまでのさまざまなウェーハサイズと互換性があり、クリーンルームの動きプロトコルに厳格に準拠したクリーンルーム用として認定されています。全体として、PRI AUTOMATION M 600 Wafer Handlerは、幅広い製造ニーズに合わせて設計された信頼性が高く、高精度で効率的な自動化装置です。迅速で簡単な操作と最小限のメンテナンス要件により、多種多様なアプリケーションにとって非常に貴重な支援となります。
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