中古 BROOKS / PRI AUTOMATION HAA0099E #9205174 を販売中

BROOKS / PRI AUTOMATION HAA0099E
ID: 9205174
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION HAA0099Eは、大量の半導体製造のために設計されたウェハハンドラです。BROOKS HAA0099Eは、柔軟性と速度でシステムを追跡するために、ストッカからウェーハの熱伝達を提供します。リニアモーション、真空、ウエハハンドリング機能を搭載した全自動トラック装置です。このシステムは、最大12インチのウェーハサイズに対応でき、一度に最大15個のウェーハを移動できます。速度制御機能を使用すると、スループット要件を満たすために必要に応じて生産レートを増減できます。ウェハハンドラには、レーザー干渉計、ビジョンカメラ、圧力センサー、ガードなど、ウェハモーションを認識および制御するための幅広いセンサーも装備されています。PRI AUTOMATION HAA0099Eには、100〜240 V ACを使用できる柔軟な電源供給ユニットがあります。この機械は騒音および振動を最小限に抑えてクリーンルームの環境で作動するように設計されています。ウエハハンドラには、インターロック、安全カーテン、赤外線防止センサー、その他のさまざまな保護機能を含む高度な安全ツールもあります。HAA0099Eは、資産の簡単なプログラミングと監視を可能にするオペレータフレンドリーなインターフェイスで設計されています。このインターフェイスには、メッセージウィンドウ、アラーム処理、通信機能、統計分析、および内部データベースが含まれます。リモートアクセスは、PC、ラップトップ、またはスマートフォンを介して利用できます。包括的なメンテナンスモデルにより、簡単なメンテナンスとトラブルシューティングが可能です。BROOKS/PRI AUTOMATION HAA0099Eは、ユーザーフレンドリーな機器セットアップウィザードとPLC (Programmable Logic Controller)インタフェースで設計されており、面倒なPLCプログラマを必要としません。操作を簡素化するために、機器制御とパラメータ設定のためのVisual Basicプログラムも含まれています。BROOKS HAA0099Eには、包括的な品質管理と監査分析を提供する、工場でインストールされたテスト機能の包括的なリストが含まれています。モジュール設計と統合機能により、このシステムは他の自動システムに簡単に接続できます。PRI AUTOMATION HAA0099Eは、アップグレードとメンテナンスを容易にするユーザーフレンドリーなグラフィカルメニューユニットで設計されています。要するに、HAA0099Eは、大量の半導体生産を処理するように設計された高性能ウェーハハンドラです。直径12インチまでのウェーハに対応可能で、一度に最大15個のウェーハを移動できます。このマシンには、包括的な安全ツール、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、および堅牢なテスト機能が装備されています。BROOKS/PRI AUTOMATION HAA0099Eは、柔軟な電力供給資産で設計されており、他の自動システムとシームレスに統合できます。その高度な機能と信頼性により、BROOKS HAA0099Eは半導体製造に最適です。
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