中古 BROOKS / PRI AUTOMATION GT 9000 #140339 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000は、BROOKSの高性能ウエハハンドラです。半導体製造プロセスで使用されるプロセスツールです。BROOKS GT 9000は、カセット・ツー・カセット運転に使用され、半導体基板の取り扱いに継続的なプロセスを提供します。PRI AUTOMATION GT 9000は、ベースフレーム、モーターアセンブリ、スキャナーを備えたモジュラー設計です。基礎フレームはステンレス鋼から組み立てられ、用具に強く、安定した構造を提供するように設計されています。また、オートモードからマニュアルモードへの移行を容易かつ滑らかにするように設計されています。モーターアセンブリには、コントローラ、モーター、ドライブシステム、およびベースフレームに取り付けられたビジョンシステムが含まれています。ビジョンシステムは、搬送およびピックアンドプレイス作業中にウェーハを検査するために使用されます。GT 9000は200mmおよび300mmのウエハとの使用のために設計され、顧客の特定のプロセス条件に形成することができます。ウェハ自動車処理システムにはスキャン技術とビジョン技術が搭載されており、転送のあらゆる段階でリアルタイムのプロセス情報を提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000にはSorter StationとDrop Stationオプションがあり、ユーザーは複雑なプログラミングなしでウェーハを並べ替えて転送することができます。BROOKS GT 9000は使いやすく設定も簡単です。プロセスを設定するために複雑なプログラミングを必要としません。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、プロセスに必要なコンポーネントを簡単に選択できます。PRI AUTOMATION GT 9000は、ウェーハの損傷リスクを低減する安全機能を内蔵しています。また、内蔵の緊急停止により、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。GT 9000は信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いウェハハンドラです。自動化されたプロセスのための最も要求の厳しい顧客要件を満たすように設計されています。統合されたビジョンシステムとスキャンシステムにより、正確でリアルタイムのプロセス情報が得られ、モジュラー設計と直感的なユーザーインターフェイスにより、BROOKS/PRI AUTOMATION GT 9000は使いやすく構成されています。