中古 BROOKS / PRI AUTOMATION Fixload 25 #9392799 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25は、ハイエンドで完全に自動化されたウェハハンドラです。シリコンウェーハを高速かつ正確に原子炉や炉などのエッチングや成膜チャンバーなどのウェーハ関連機器に積み込むことで、損傷のリスクを最小限に抑えることができます。BROOKS Fixload 25は、ウェーハサイズ、形状、素材を迅速かつ正確に転送およびロードすることができ、1時間に最大30個のウェーハ/プロセスが形成され、ロードされます。これは、2つのローディング接点と3つのウェーハ位置検証方法を備えています：カメラ、光センシング、および機械的接触センシング。さらに、ウェーハのバリエーションやずれによる動きを自動的に補正し、ウェーハの損傷を防ぎます。PRI AUTOMATION Fixload 25には、高精細イメージングを使用してウェーハの位置、サイズ、形状を正確に検出および検証する専用のビジョンシステムカメラが含まれています。これにより、手動での介入が不要となり、ウェーハの位置決め精度に関して高い信頼性が得られます。また、このビジョンユニットは、粒子欠陥検出などのウエハ表面検査機能を強化することができます。Fixload 25には、多相モジュラーロボティクスプラットフォームも搭載されています。これにより、柔軟性の高い作業環境が可能になり、製品の迅速な切り替えとオンザフライの機械構成変更が可能になります。このマシンはまた、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと簡単なポイント&クリックコマンドを備えており、ローディングルーチンを迅速かつ簡単に実行できます。このツールはLoadCell Weight Measurement Assetを内蔵しており、ウェーハの重量測定とオーバースタッキングによるウェーハ損傷の防止を可能にします。このモデルはまた、ウェーハの積載力と位置にリアルタイム制御とフィードバックを提供し、プロセスパラメータの最適化を可能にします。BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25は産業用に設計されており、既存の生産ラインへの統合のためにCE認定されています。これにより、大量のウェハローディング作業に理想的なソリューションとなり、生産性の向上とコストの削減を可能にします。