中古 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9399341 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、半導体製造および研究産業のニーズを満たすように設計された完全自動ウェハハンドラです。BROOKS FAB Expressのロボット機器は、ウェーハを1つの機器から別の機器に取り扱い、ロード、アンロード、転送するための費用対効果の高いソリューションを提供します。このシステムは、堅牢で信頼性の高いプラットフォームに基づいて構築されており、ステンレス鋼構造、高トルクモーター、セルフクリーニングワイヤーガイド、シリアル通信、およびウェーハの精密アライメントのための高度なビジョン技術を備えています。PRI AUTOMATION FAB Expressにはプログラマブルなロボットアームが搭載されており、ウェーハを最大+/-7ミクロンの精度で位置決めすることができます。ロボットアームは360度回転でウェーハを動かすことができ、ウェーハの取り扱いにおいて高い再現性と精度を発揮します。このロボットは、さまざまな生産環境で一貫したパフォーマンス、堅牢な動作、生産性の向上を提供するように設計されています。FAB Expressは、高度なビジョンテクノロジーを使用して、転送前にウェーハの正確なアライメントを可能にします。このユニットは、ウェーハエラーの検出と認識を向上させ、損傷処理のリスクを低減します。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは完全なインターロック保護を提供し、化学物質および危険物質の処理操作に統合することができます。使いやすさのために、BROOKS FAB Expressロボットマシンを遠隔地に配置することができ、ツール全体の操作範囲をプログラムおよび管理するために1つの制御ポイントが使用されます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ウェーハの処理操作を制御および監視できます。アプリケーションインターフェイスには、手持ちのリモートコントロールユニットまたはイーサネットケーブルを介してモデルに接続されたコンピュータからアクセスできます。PRI AUTOMATION FAB Expressは、低コストで使いやすい機能と安全な操作により、クリーンルーム環境に最適なマシンです。この装置は、ローディング、アンロード、およびクリーニング、スタッキング、並べ替えに至るまで、ウェーハ処理のための信頼性の高い効率的なソリューションを保証します。さらに、システムには高度なビジョン技術が搭載されており、優れた性能とウェーハの正確なアライメントが可能です。これらの包括的で信頼性の高い機能を備えたFAB Expressは、クリーンルーム設定でのウェーハの取り扱いと転送に最適です。