中古 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9281243 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、大容量のハイミックス半導体設備の工場オートメーションとスループット効率を最大化するように設計された自動ウェハハンドラです。このウェーハハンドラは、カセットカセット、カセットツールまたはカセットロックのいずれかの転送を使用して、プロセスツール、カセット入力システム、ロードロック、およびテストハンドラへのウェーハの転送とロードを自動化します。このモジュール設計により、カスタマイズされたウェーハハンドリングシステムを設計し、特定の機関のアプリケーション要件を満たすように構築することができ、化学的互換性と温度制御オプションを利用できます。BROOKS FAB Expressは、柔軟な構成と高度なモーションコントロール機能により、スループットを最適化し、切り替え時間を最小限に抑えるように設計されています。マイクロデバイスから大型製品まで幅広いウエハサイズに対応可能で、2,000個のウエハ容量で最大6,400個/時間のウエハ管理が可能です。PRI AUTOMATION FAB Expressは、クラスタ、リニア、Tバー構成など、さまざまなユーザーのニーズに合わせてさまざまな構成を提供します。FAB Expressは、ウェハハンドリングに加えて、真空ウェハハンドリング、ウェハオリエンテーション制御、ポストクリーニング操作も行い、人手への依存度を低減しながら、高いプロセス制御とスループットを実現しています。また、Visual Fabソフトウェアなどの高度なユーザープログラミングツールや、安全なデータ転送のためのさまざまな通信オプションも備えています。システムのメンテナンスとアップグレードは簡単で、バックアップ機能とオンライン診断が利用可能です。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えるように設計されており、大量のアプリケーションに最適です。その耐久性と信頼性は、複数の実行をサポートし、長期の動作を延長します。全体として、BROOKS FAB Expressは、大容量、高品質の半導体設備の工場オートメーションとスループット効率を向上させるために設計された自動ウェーハハンドリングシステムです。柔軟な構成と高度なモーションコントロール機能、さまざまなユーザープログラミングツールとセキュアなデータ転送のための通信オプションを提供します。信頼性が高く、耐久性が高く、メンテナンスが容易で、オンライン診断とバックアップ機能を最大限に活用できます。