中古 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9205922 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressウェーハハンドラーは、半導体およびエレクトロニクス業界の厳しいニーズに対応するように設計された高度なロボット機器です。BROOKS FAB Expressは、± 3ミクロンの精度で、2インチから76mmまでの幅広いウエハサイズに対応でき、水平方向または垂直方向のいずれかで使用できます。高度なマイクロプロセッサ制御システムにより、プロセス間で迅速かつ正確なウェーハ転送が可能になり、手動でウェーハを移動し、各ウェーハの正確なアライメントを確保する必要がなくなります。PRI AUTOMATION FAB Expressには、さまざまな業界標準フォーマットの汎用ロードポートが装備されており、幅広いウェーハ構成に柔軟に対応できます。これにより、プロセス間でウェーハを移動する際のダウンタイムを最小限に抑え、高速で汎用性の高い操作が可能になります。さらに、FAB Expressは高度なビジョンユニットを搭載しており、複数のステーション間のウェーハの正確な配置と輸送を安全に行うことができます。さらに、ウェハハンドラは直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、マシンの迅速かつ簡単なセットアップ、構成、および監視を可能にします。フロントパネルモニタは、プロセスステータスに関するリアルタイム情報と、注意が必要な潜在的なアラームの視覚的インジケータを提供します。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、さらに機能を強化するための高度な自動化機能を提供する包括的なツールライブラリによってサポートされています。このライブラリには、統合されたレシピ管理ツール、安全なマルチレーン転送機能、ツール監視などが含まれます。全体として、BROOKS FAB Expressウェーハハンドラは、高度で信頼性の高いロボットアセットであり、複数のプロセス間でウェーハを転送する際に精密な制御を提供します。高度なビジョンモデル、直感的なユーザーインターフェース、汎用性の高いロードポート、および包括的なツールライブラリにより、要求の厳しいウエハハンドリングアプリケーションに最適です。