中古 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #293609946 を販売中

ID: 293609946
System.
BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、大量の小型半導体やその他の水晶ウェハのコスト効率の高い取り扱いと輸送を提供するように設計された完全自動ウェハハンドラです。BROOKS FAB Expressは、ウェーハソーイング、レーザー切断、レーザーマーキングなど、さまざまな産業用途に適しています。PRI AUTOMATION FAB Expressは、2つのスロット間でウェーハを輸送するためのシングルステージリニアアップダウントランスファーシステムを備えています。また、ウェーハハンドラは、熱保存のためのサイドゾーンを備えており、ウェーハの搬送と回収に必要な時間とエネルギーを削減します。最後に、FAB Expressには、輸送前にウェーハ用のホットバスが含まれており、ウェーハが輸送中に制御された温度に保たれるようにしています。ウェーハハンドラは、ウェーハをステーションからステーションに移動できる堅牢なロボットアームを備えています。ロボットアームにはビジョンセンシング機能が搭載されており、BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、ウェハが輸送中に破損、シフト、またはずれたかどうかを検出できます。さらに、ロボットアームはウェーハの位置のずれを検出し、それに応じてウェーハを調整するようにプログラムされています。BROOKS FAB Expressは、ユーザーがウェーハ処理プロセスをより制御できるように、さまざまなカスタマイズオプションも備えています。例えば、モーション速度や材料の選択から選択することができ、デジタル入出力、オペレータインターフェイス、監視機器を利用することができます。ポートアクセス、消火システム、遠隔監視機能も利用できます。PRI AUTOMATION FAB Expressはオープンアーキテクチャで設計されており、より簡単な統合とアップグレードが可能です。お客様は、複数のウェーハサイズやタイプの追加プラットフォームやゾーンヒーターなど、追加のステーションやアドオンオプションで組立ラインを拡張できます。FAB Expressは信頼性が高く効率的なウェハハンドラであり、手作業の労力を削減し、ウェハハンドリングプロセスを合理化するように設計されています。大容量、堅牢なロボットアーム、カスタマイズ可能な機能を備えたBROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、石英のようなウェーハを大量に取り扱い、輸送するのに理想的なソリューションです。
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