中古 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #128309 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、半導体製造業界におけるフォトリソグラフィックプロセスの生産スループットを向上させるために設計されたハイエンドの自動ウェハハンドラ装置です。BROOKS FAB Expressは、水平・垂直精度13。7ミクロンの8インチウェーハを搬送・位置決めする多軸ロボットアームです。静的位置精度は± 7。9ミクロンで、カセットドックに密集したウェーハにも対応可能です。PRI AUTOMATION FAB Expressには独自の2軸エンドエフェクターがあり、ウェーハのピックアップまたは設定時に17マイクロ秒のセトリング時間があります。システムには、フォトリソグラフィーのステッパー、ホストコンピュータ、およびその他の機械要素に接続する高速バスが搭載されています。FAB Expressはバス上に最大5000の異なる位置を格納することができ、毎秒200回までこれらの動作を実行できます。また、取り外し可能なオペレータコントロールパネルがあり、ユーザーは手動でコマンドや新しいウェーハ座標を入力できます。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressには、衝突および製品認識機能、トランジット中のウェーハの画像とフィードバックをキャプチャする統合ビジョンユニット、および各カセットを検出および処理するバーコードリーダーがあります。BROOKS FAB Expressは、最大搬送速度が3。0m/s、最大加速度が5。0Gです。また、モジュール設計を採用しており、部品を分離して制御機に直接接続することができます。これにより、プログラムとパスをコントロールツールに再ロードする必要がなくなり、インストールとトラブルシューティングが簡素化され、効率が向上します。PRI AUTOMATION FAB Expressには安全システムも搭載されています。この資産は、OSHA要件を満たすように設計されているだけでなく、欧州規格ENORM 14971およびCE/UL安全規格にも準拠しています。これにより、FAB Expressは労働者や環境にとって安全であることが保証されます。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Expressは、半導体フォトリソグラフィープロセスの生産スループットと効率を向上させるために特別に設計された完全自動ウェハハンドラモデルです。この装置は信頼でき、有効、多目的です。BROOKS FAB Expressはまた、最高の安全要件を満たしており、あらゆる製造施設の要件に合わせて柔軟な機能を備えています。