中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212ウェーハハンドラは、半導体を堆積処理するために設計された完全自動ウェーハハンドリングシステムです。ウェーハハンドラは、ウェーハデッキ、プロセスモジュール、ウェーハリフトモジュール、トランスポートモジュールなどのさまざまなコンポーネントを含む、直径6インチまでのウェーハを扱うことができます。ウェーハデッキは、デッキ間でウェーハを輸送することができ、また、ウェーハを個々の部分にシングルインすることができ、基板とのより大きな表面積の接触を可能にします。このプロセスモジュールは、化学蒸着、スパッタリング、CMP、リソグラフィなど、さまざまなプロセスを自動化することができ、スループットを最大化し、プロセスコストを最小限に抑えるように設計されています。ウェーハリフトモジュールは、ウェーハモジュールからプロセスモジュールへのウェーハ転送を容易にし、ウェーハフレームをクリップして転送中の脆弱なウェーハへの損傷を防ぐことができます。トランスポートモジュールは、デッキ間およびウェーハデッキからウェーハリフトモジュールへのウェーハ転送に必要なモーションコントロールを提供します。また、ウェハハンドラには、不正な人員がウェハハンドラの内部にアクセスできないようにするための安全インターロックや、機械の状態確認や故障箇所の診断ソフトウェアも含まれています。また、省電力設計に加え、エネルギー消費量を削減するカウンターバランス技術を採用しています。全体として、BROOKS ESC 212ウェハンドラは、大量の半導体処理を行うための効果的で信頼性の高いツールです。