中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064608 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293ウェーハハンドラーは、半導体ウェーハを効率的に移動および処理するために設計された自動化装置です。高速双方向トランスファーモジュール、ロボットアーム、ハイドロピックウェーハアクセサリー、ウェーハクランプ、エアベアリングユニット、コントローラを含む完全統合システムです。BROOKS ESC-204T-S293は、直径8インチまでの幅広いウェーハサイズに対応し、1時間あたり最大149個のウェーハをピックアップして配置することができます。このマシンはまた、ツールの簡単なセットアップと操作を可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。高速双方向トランスファーモジュールにより、ウェハの素早く効率的な移動が可能です。トランスファーモジュールは、最大直径8インチのウェーハと複数のウェーハプラットフォームを移動するように設計されています。最小限のメンテナンスと最大限の信頼性のために、最小限の機械部品で設計されています。双方向トランスファーモジュールは、最大147mm/secの速度で動作することも可能で、ユーザーに高速な転送時間を提供します。PRI AUTOMATION ESC-204T-S293のロボットアームは、さまざまな動きと方向を使用してウェーハを正確にピッキングして配置することができます。ロボットアームは、標準的な業界ソフトウェアを使用して、簡単なセットアップとピックアップとポイントを配置する変更を可能にします。ロボットアームは、柔軟な設置と資産拡張を可能にするモジュラー設計も備えています。水耕ウエハアクセサリーは、ロボットアームと一緒に使用することで、ウエハーを取り扱う際のさらなる制御と精度を提供することができます。ESC-204T-S293のウェーハクランプは、ウェーハの安全な取り扱いと動きを保証します。ウェーハクランプは、ウェーハとウェーハクランプの間に空気層を作成し、ダメージフリー転送を確保する2つの空気圧室で設計されています。エアベアリングモデルは、最適なウェーハ処理と信頼性の高い結果のための振動とノイズを低減するのに役立ちます。BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293には、効率的なセットアップと操作を可能にする強力なコントローラが装備されています。コントローラにはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、装置のセットアップと操作が簡単になります。コントローラはまた、システムのパフォーマンスに関する視覚的なフィードバックを提供し、すべてのデータを記録します。さらに、このコントローラは、電子負荷検出や過負荷認識などの潜在的な誤動作から保護する安全機能を内蔵して設計されています。BROOKS ESC-204T-S293 Wafer Handlerは信頼性が高く、効果的で使いやすいユニットで、最大直径8インチの幅広いウエハサイズを取り扱い、迅速な転送時間を提供します。ロボットアーム、ハイドロピックウェーハアクセサリー、ウェーハクランプ、エアベアリングマシンは、強力なコントローラと組み合わせて、ユーザーに効果的で効率的なオートメーションツールを提供します。