中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064560 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293ウェーハハンドラは、高精度、高スループットウェーハ処理のための高度なオートメーションソリューションです。これは、最近のさまざまなロボットおよびコンピュータビジョンシステムとインターフェースするように設計されており、先進的な産業および商業業務に理想的な選択肢となっています。BROOKS ESC-204T-S293は、最大6個のウエハを一度に処理できるように設計された高精度の半導体加工装置で、最大24個の基板位置を管理します。これは、静止したソースからウェーハを自動的にロードおよびアンロードすることができる完全に密閉された、輸送可能なシステムを備えています。これにより、手動での処理が不要になり、信頼性と精度が向上します。PRI AUTOMATION ESC-204T-S293には、ウェーハの正確なアライメントを容易にする2軸ステージが装備されています。デュアルサーボ駆動のX軸とY軸を備えており、高い信頼性で優れた速度、精度、再現性を提供します。このユニットの高度なモーションコントロールアルゴリズムは、高速、正確、および低メンテナンス動作を保証します。ESC-204T-S293は、高精度のループベースのコントローラと24位置の並列グリップ負荷ポートを備えており、プロセスをインテリジェントに制御できます。デジタルトルクセンサは、ステージの力に関する正確なフィードバックを提供し、ウェハの位置と速度を正確に制御することができます。さらに、加速と減速のための調整可能なデッドタイム、動的な単点収束などの革新が付属しています。BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293は、人員と機器を保護するために設計された幅広い安全機能を備えています。これらには、パッシブウェハエジェクタ、温度センサー、警告ユニット、アラームおよびステータスインジケータが含まれます。また、周辺機器を接続するための複数のデータポートも含まれています。BROOKS ESC-204T-S293は、耐久性と操作性を向上させるために、プロセス検証用の高性能な硬化クロムレーザーを搭載しています。これにより、信頼性の高いウェーハトラッキングとキャリブレーションが可能になります。高度な制御技術はまた、ダウンタイムを最小限に抑え、長時間の使用におけるメンテナンスを最小限に抑えます。結論として、PRI AUTOMATION ESC-204T-S293ウェーハハンドラは、高い精度と速度を提供する高信頼性で効率的なマシンです。その革新的なデザインとその安全機能の広い範囲は、高度な産業および商業操作のための理想的な選択肢となります。