中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 #9256427 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293は、半導体業界で使用するために設計された自動ウェーハ処理装置です。直径200mmまでのウェーハ、厚さ25mmまでの基板に対応可能です。これは、SMIF負荷の可能性を持つ半自動マテリアルイン/マテリアルアウト（MIMO）システム用に設計されています。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293は、ウェーハの効率的かつ正確な搬送を可能にし、手動、ハンドヘルドウェーハ処理方法よりも効率を向上させ、負荷ポート内外のウェーハの移動手段を高速かつ自動化します。PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293には、ウェーハハンドリングロボティクス、電動ステージ、および一般的な制御、モーション、およびソフトウェア要素が装備されています。ウェーハハンドリングロボティクスは、ウェーハの安全で信頼性の高い配信、保管、および検索を提供するように設計されています。タッチパネルにより制御され、必要なウエハーをロードポートとの間に供給しながら、簡単な操作とメンテナンスが可能です。電動ステージは、内蔵のモーションコントロールエレメントを使用しており、高精度のローディングとアンロード動作を可能にします。このステージでは、ロードポート接続インターフェイスを使用して、ウェーハのレセプタクル内および外側への効率的な転送を可能にします。ESC-204T-OTF-SMIF-S293にはSORDINコントローラも含まれており、システムを完全に自動化し、データ駆動型ウェーハ処理を高速に追跡することができます。BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293は、ロボットやステージングコンポーネントに加えて、SORDINコントロールユニットなどのソフトウェア要素や、ウェーハのロードとアンロードのためのオートメーションインターフェイスも含まれています。このオートメーションインターフェイスはRS-232であり、外部負荷ポートマシンとインタフェースする際に便利な通信手段を提供します。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293は、半自動MIMOシステムの高度な汎用性を提供し、精度と再現性を高めたウェーハの効率的な取り扱いを可能にします。ロボティクス、モーションコントロール素子、ソフトウェア素子を使用しているため、半導体業界を中心に精密ウェハハンドリングに最適です。