中古 BROOKS / PRI AUTOMATION Ergo #128314 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ERGOウェハハンドラは、半導体製造設備で使用するために設計された最先端の半自動ウェハプロセスソリューションです。ウェーハの搬送、プリアライニング、ウェーハの積み降ろしなど、さまざまなウェーハ処理を行うことができる完全プログラマブルなロボット機器です。BROOKS Ergoは、高い精度を提供しつつ、効果的なサイクルタイムを実現するように設計されています。このシステムには、お客様の特定の要件に応じて構成することができ、直径300mmまでのウェーハに対応できるさまざまな調整可能なコンポーネントが装備されています。PRI AUTOMATIONエルゴウエハンドラは、BROOKSの先進モーションコントローラを搭載した堅牢で信頼性の高いサーボ制御ロボットアームを採用しています。ロボットの動きは統合ビジョンユニットによって監視され、機械のプログラマブルセンサーはロボットの向きと正確な位置を追跡します。Ergoウェーハハンドラは、誤ったピックや拒否を最小限に抑えるように設計されており、手動のロード/アンロードと比較して高い精度を提供します。このツールは洗浄とメンテナンスのために簡単にアクセスできる洗練されたデザインを備えていますが、その小さなフットプリントにより、最もスペースに制約のある環境でも設置することができます。BROOKS/PRI AUTOMATIONエルゴウェハハンドラは、最高の精度と信頼性を提供するように設計されています。モーションコントローラは、サイクル中に高い精度を継続的に維持し、再現可能な性能の予測可能性を保証することができます。このアセットには高度なプログラミングとオートメーション機能が搭載されており、幅広いウエハハンドリングシナリオに対応できます。さらに、BROOKS Ergoウェハンドラは、オペレータのための強化された安全機能を提供します。2段階の安全監視モデルは潜在的な問題を検出し、オペレータに警告するように設計されていますが、ヒンジ付きウェハチャックと堅牢なフィーダーアームは潜在的な怪我を軽減するように設計されています。PRI AUTOMATIONエルゴウェーハハンドラには、既存のプロセスラインに簡単に統合できる複数の通信プロトコルが含まれています。Ergoウェハハンドラは、半導体の生産ニーズに最適なソリューションです。精度、信頼性、安全性を兼ね備えているため、生産プロセスの歩留まりを最大限に引き出すことができます。