中古 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-Sウェーハハンドラは、半導体ウェーハの移動、操作、検査を目的とした高度なロボットオートメーションシステムです。それはクリーンルームの環境の精密製造工程で使用されます。BROOKS/PRIハンドラーは、個々のプロセスのニーズに合わせてカスタマイズできるモジュラーシステムです。メインボード、複数のウェーハカセット、ウェーハシャトル、検査・検出ステーションを備えています。メインフレームは、ベースフレーム、オペレータインターフェイス、電源、空気圧操作モーションコンポーネント、サーボモータドライブで構成されています。搬送可能なウェーハカセットは、ウェーハを1つのプロセスステーションから別のプロセスステーションに自動輸送する手段を提供します。これにより、ウェーハのメインフレームへの迅速かつ正確で再現性のあるロードとアンロードが可能になります。また、データ整合性を向上させるバーコードリーダーも装備されています。ウェーハシャトルは、メインフレーム内のあるプロセスステーションから別のプロセスにウェーハを輸送することができます。シャトルは空気圧駆動で、任意の数のウエハーにカスタム構成することができます。振動を最小限に抑え、高精度で再現性に優れ、高品質なウエハハンドリングを実現します。検査および検出ステーションは、ウェーハの欠陥を検出および測定するために使用されます。ウェーハの正確な測定を可能にする高度なイメージングと光センサーを備えています。センサは、ウェーハの欠陥を正確に検出し、不規則性や汚染を特定できます。BROOKS ATM 407-1-Sウェーハハンドラは、最新のクリーンルーム環境で最も厳しい生産ニーズを満たすことができる高精度のウェーハハンドリングと検査を提供するように設計された高度でカスタマイズ可能なロボットオートメーションシステムです。モジュール構造、汎用性の高いアプリケーション、堅牢な構造により、最も困難な半導体製造プロセスに最適なオートメーションソリューションです。