中古 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM-107B-2-S-CE #9211141 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM-107B-2-S-CEは、半導体ウェーハのローディングと転送用に設計されたウェーハハンドラです。このハンドラは、デュアルカセットデッキと非常に短いサイクルタイムで、1時間あたり最大5700ウェハのスループットを提供し、高効率を実現します。統合されたツイスターステーションを備えており、すべてのプロセスを自動化するためにウェーハを回転させます。また、マルチゾーン機能も備えており、1つのステーションで複数のプロセスステップを実行できるため、アップストリームプロセスのコスト、サイズ、複雑さが軽減されます。ウエハハンドラはモジュラーアプローチで設計されており、独自のプロセス要件を満たすように素早く変更することができます。これにより、このハンドラはディスクリート部品と集積回路の両方の製造に適しています。さらに、密封されたESDの保護剤および汚染なしの構造を含むプロセス環境のための高度の設計を特色にします。BROOKS ATM-107B-2-S-CEにハンドラーのすべての部分がよい状態にあることを保障するいろいろな連結があります。また、ウェーハの向きやその他のパラメータをチェックする自動視覚検査機能や、適切な状態にないウェーハを拒否する機能も備えています。さらに、正確なウェーハの位置決めやハンドリングに優れた精度と再現性を提供します。さらに、シングルポイントウェーハ切断機能を強化することで、シームレスで汚染のない処理が可能になります。また、最適なウェーハの安全性を確保するため、真空回収、ウェーハ保護シールド、リムーバブルカバー、リボンケーブルセンサー、ノンスクラッチパーツなど、さまざまな予防対策が施されています。さらに、EQUIPE ATM-107B-2-S-CEにはインテルCore i7プロセッサーが搭載されており、高性能な動作と複雑なデータ処理能力を提供します。このウェハハンドラは、イーサネット、PROFINET、 DeviceNet、 MODBUS通信システムなどの標準技術も統合しており、あらゆる施設の制御システムに容易に統合できます。設計と生産を容易にするために、ウェハハンドラは低消費電力で柔軟なアーキテクチャとモジュール設計で設計されています。これにより、統合プロセスが簡素化され、機械と技術の簡単な近代化とアップグレードが保証されます。さらに、予防的メンテナンス、モニタリング、診断機能をプラットフォームに統合し、ダウンタイムを削減し、最適な効率を確保します。