中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-8 #128317 を販売中

ID: 128317
Robot controller, p/n 105947.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-8ウェハハンドラは、自動ウェハハンドリングと処理のための信頼性が高く、高スループットで費用対効果の高いソリューションです。半導体からプリント基板市場まで幅広い業界で使用されるウェーハハンドラの業界標準です。Automation BROOKS ATR-8は、3軸ウェーハポジショナーとピッカーアッセンブリを備えたコンパクトでパワフルなウェーハハンドラです。高精度、再現性、再現性に優れたPID制御を備えています。ウェーハハンドラのZ軸は、ウェーハの微調整のために+/-10度の線形回転を持ち、転送とウェーハのローディングの正確なアライメントを保証します。Automation PRI AUTOMATION ATR 8は、プログラマブルピッチ範囲が6。025 mmから36。18 mmの150mmおよび200mmウェーハに対応できます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR 8は、高性能で長期的な信頼性を提供するために、頑丈な鋳造アルミニウムベースとフレーム、および迅速なメンテナンスと修理のためのツールレスの取り外し可能なトップカバーとサイドパネルで設計されています。また、直感的なタッチスクリーンHMIを備えており、ロボットの操作機能を完全に制御できます。オートメーションATR-8には、安全性と正確性を確保するためのさまざまな安全機能と調整可能なパラメータも装備されています。衝突、過負荷を防ぎ、運動軸の過剰拡張を制限するために、速度、駆動、およびスライドの制限を調整できます。また、ロボットが所望の動作領域内でのみ移動することを確認するための調整可能な安全停止があります。Automation BROOKS ATR 8は、効率的なプロセス時間と正確な部品処理により、優れたウェハハンドラとしての地位を証明しています。積み降ろし、ウェーハ交換、並べ替えとバイアス用に構築されているため、非常に汎用性が高くなります。また、品質保証プロセスの一環として、自動画像キャプチャ用の追加のウェハフェンスまたは顕微鏡システムを使用して構成することもできます。優れたウェハハンドリングのために、PRI AUTOMATION ATR-8ウェハハンドラは、あらゆる業界やアプリケーションに最適な選択肢です。スタイリッシュなデザインと堅牢な構造により、長年にわたって高性能を維持する信頼性と費用対効果の高いソリューションです。
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