中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9286633 を販売中

BROOKS/PRI BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7 Automatic Transfer Robot （ATR）は、半導体処理システムで使用するために設計された完全自動ウェハハンドラです。PRI AUTOMATION独自のサーボモーション技術に基づいており、さまざまなOEM処理システムとのインターフェースを設計しています。BROOKS ATR-7は、人間の介入がほとんどなく、ウェーハを1つの機器から次の機器に転送することができます。PRI AUTOMATION ATR-7はコンパクトで軽量なマシンで、高さはわずか30インチ、幅は17インチです。そのメインフレームは、航空機の品質のアルミニウムとステンレス鋼の部品で構成されており、そのカバーは耐腐食性アルミニウムから作られています。システムのすべての部分は容易な取付けおよび移植性のための単一の基礎モジュールに取付けられます。ATR-7には2つのウェーハトレイが装備されており、それぞれ最大8つの200mmウェーハを保持できます。トレイにウェーハを装填し、グリッド上に配置し、トップトレイをドライブケーブルに接続します。グリッドは低慣性のDCサーボモータで駆動され、ユニットの動作を容易に制御できます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7は、高度な設計と高品質のコンポーネントにより、信頼性が高いです。これには、動作を監視し、エラーが検出された場合にツールを停止するデュアルセンサマシンが含まれています。また、一貫した再現性のあるプロセスのために、ウエハーへのガスの流れを制御するためのガス供給資産も統合されています。BROOKS ATR-7は柔軟性のために設計されており、さまざまな処理システムとの接続を可能にするいくつかの機能が含まれています。その通信ポートは、PCやコントローラだけでなく、いくつかの一般的なモデルに直接接続することができます。PRI AUTOMATION ATR-7は、制御パラメータ、座標調整、およびさまざまな出力コマンドをマシンに直接プログラミングすることもできます。印象的な機能に加えて、BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI ATR-7は使いやすく、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。既存のウェーハ処理システムに簡単に接続でき、直感的なユーザーインターフェースにより、オペレータは機械の使い方をすばやく学ぶことができます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7は、信頼性、柔軟性、ユーザーフレンドリーな設計により、自動化されたウェーハハンドリングが必要なラボや産業環境に最適です。