中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9254397 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたウェハハンドラです。直径12mm〜200mmのウェーハを扱えるように設計されており、幅広いウェーハ加工が可能です。BROOKS ATR-7は、3軸リニアモーションシステムを使用して、製造プロセス全体にわたってウェーハを正確かつ効率的に転送します。PRI AUTOMATION ATR-7は、自動ウェーハステージングとアンロード機能を実行することができます。これにより、生産歩留まりとスループットを向上させる手作業による介入が不要になります。本機は、ウェーハを前段階と後段の間で搬送することが可能であり、生産試験やソート機能を容易にする出力/入力位置も備えています。ATR-7は、ウェーハパススルー、スピンステージング、クリップパッシング機能など、さまざまな同時操作にも対応しています。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7は、ウェーハのサイズを決定するためにウェーハ認識システムを使用し、迅速かつ正確なウェーハ処理を可能にします。また、アルゴリズムを使用して欠陥条件を検出し、それに応じて動作を調整します。これにより、スループットを最大化し、エラーを削減できます。さらに、BROOKS ATR-7は、イーサネットまたはUSB経由で外部制御システムとインターフェースすることができます。これにより、ワークステーションとツールシステムとの同期が可能になり、効率的な生産ライン運用が可能になります。PRI AUTOMATION ATR-7は、大量生産環境で一貫した信頼性の高いウェーハ処理性能を提供するよう設計されています。それはBROOKSの信頼できる、知識豊富なサービスチームによって支えられ、可能な最高の質および性能を保障します。堅牢な構造と信頼性の高い動作により、ATR-7はスループットと歩留まりを向上させたい半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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