中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM #9263033 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATMは、半導体ウェーハ製造アプリケーション向けに設計された自動ウェーハハンドラです。ウェーハを迅速かつ正確にピックアップ、輸送、配置するために使用できる汎用性の高いロボット機器です。このシステムは、産業用マニピュレータアームに基づいており、一連の統合センサーを使用してウェーハを識別して追跡します。ARMは、ウェーハの正確な取り扱いに必要な垂直、水平、回転運動を提供するように設計された一連の連結アームとアクチュエータで構成されています。マニピュレータは、簡単なアクセスと配置のために水平方向に調整可能な高さベースに取り付けられています。アームは、高トルクのサーボモータを備えたAllen-Bradley powerFlexドライブユニットによって駆動され、滑らかで正確な動きを提供します。BROOKS ATMには、ロボットアームに統合された精密ビジョンマシンが搭載されており、ウェハのリアルタイム認識と位置情報を提供します。このツールは、ウェーハのエッジと向きを検出して、座標を手動で指定する必要なく正確なピックアップと配置を提供できます。ウェーハの配置精度を向上させ、ツーリングコストを削減するために、転送時にウェーハの接触力をツーリングに測定する高度なフォースフィードバック技術も備えています。これにより、各ウェーハの感度がロボットによって考慮され、ツールに配置されます。半自動ウェハハンドリングに加えて、自動プロセスツールとプロセス制御ソフトウェアも搭載しています。スパッタリング、拡散、エッチング、薄型化など、さまざまな工程が可能です。このソフトウェアは、ウェーハ処理に関連するデータを記録し、完全なトレーサビリティでバッチレポートを作成するためにも使用できます。PRI AUTOMATION ATMは、大量のウェーハ製造アプリケーション向けの強力で汎用性の高いツールです。それは工場統合のために設計され、いろいろ顧客の必要性に適するようにプログラムすることができます。堅牢で信頼性が高く信頼性が高く、自動化されたウェーハ処理に低コストのソリューションを提供します。
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