中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407C #163054 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407Cは、半導体テストおよびサンプルローディング用途向けに設計された自動ウェハハンドラです。最大52インチまたは3インチのウェーハを含む300mmまたは200mmカセットの積載、アンロード、マルチスタック処理が可能です。BROOKS ATM-407Cは、ウエハローダーとアンローダー、真空ピックアップ、コントローラ、レシピ開発ソフトウェアを備えています。ウエハローダーとアンローダーは滑らかで正確なウエハローディングとアンロードを提供し、内蔵のカメラとレーザーアライメントシステムはウエハハンドリングの成功を保証します。自動化されたバックエンドのロードとアンロードにより、部品の手動操作の必要性が低減されます。2Dおよび3Dモーションコントロールシステムにより、正確な位置決めと堅牢な操作が可能です。真空ピックアップは、安定した安全なウェーハハンドリングのための調整可能な真空グリッパーを採用しています。PRI AUTOMATION ATM-407Cは、タブコントロールページを備えた直感的なグラフィカルコントロールインターフェイスによって制御され、使いやすさを実現しています。コントローラはWindowsおよびLinuxシステムと互換性があり、カスタムレシピの開発が可能です。付属のソフトウェアは、一般的な使用のための事前定義されたプログラムのセットだけでなく、カスタムレシピ開発のための編集可能なプログラマツールを提供します。プログラムライブラリは、カスタムレシピの簡単な保存と検索を可能にします。ATM-407Cは堅牢な構造で作られており、SEMI上位基準を満たす電気、空気圧、真空部品が含まれています。内蔵の防塵機能により、クリーンルーム環境での粒子汚染を最小限に抑えます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407Cの性能は、低ノイズながら高速動作、動的動作解像度2000ppsでさらに向上しています。BROOKS ATM-407Cは、半導体試験およびサンプルローディング用途向けに設計されています。最大50インチまたは3インチのウェーハを備えた300/200mmカセットの積載、アンロード、マルチスタック処理が可能で、さまざまな自動機能と直感的なプログラミングソフトウェアを備えています。堅牢で耐久性のある構造、上流水準への厳格な準拠、動的な動作分解能を備えたPRI AUTOMATION ATM-407Cは、半導体業界において信頼性の高い正確なウェーハハンドリングを提供します。