中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handlerは、極端な温度制御安定性を必要とするアプリケーションにおいてウェーハを正確かつ正確に取り扱うための、業界をリードする高性能の自動搬送モジュールです。ウエハハンドラは、200mmから200mmまでのウエハサイズに対応するように設計されており、さまざまなウエハ径と高さに対応するように調整可能です。このユニットは、ウェーハの制御を改善するためのトレイインデックス機構を備え、ソースからプロセスツールへの直接経路を提供することができます。このユニットには、ウェーハの積み下ろしに役立つ調整可能な開口部を備えた人間工学に基づいた設計も含まれています。BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handlerは、垂直モードと水平モードの両方で動作し、幅広いプロセスツールとの最適な互換性を提供します。また、Active Stacking Technologyを搭載し、大量生産中にウェーハ管理を最適化します。これにより、ウェハハンドラはサイクル時間を短縮し、ウェハインテグリティを犠牲にすることなく生産能力を向上させることができます。PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CEは、± 1°C以上の室温を維持するように設計されており、ウェーハ加工時に非常に安定した条件を提供します。このユニットは高度な制御アーキテクチャを備えており、特定のウェーハ処理要件を満たすようにプログラムすることができます。これは、ウェーハの速度、時間遅延、最大16個の構成可能なレシピなど、簡単に調整可能なプロセスパラメータによって達成されます。これにより、ウェーハハンドラは、検証実行から高いスループプット生産実行まで、顧客定義の生産要件を満たすように正確にプログラムすることができます。ATM-407B-2-S-CE Wafer Handlerには、内蔵アラーム、エラーコード、データロギングなどのフロントエンドの監視および診断機能も含まれています。これにより、一貫したウェーハの整合性を確保し、稼働時間の向上とメンテナンスの簡素化を実現します。また、ウェーハのセンタリングやアンロードの精度も高く、再現性の高いプロセス歩留まりを実現しています。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handlerは信頼性の高い堅牢なウェーハハンドリングモジュールで、極度の温度制御安定性を備えたプロセスツール内のウェーハを正確かつ正確に処理します。幅、高さ、回転が調整可能なため、幅広いウエハサイズと互換性があります。また、プロセスパラメータの調整により、お客様は独自の生産要件に合わせて微調整することができます。高度な制御アーキテクチャ、内蔵のモニタリングと診断、および高精度なセンタリングとロード機能により、BROOKS ATM-407B-2-S-CE現代のプロセス技術アプリケーションに最適です。