中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #293664249 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CEは、半導体資本装置の完全統合ウエハハンドラです。このウェハハンドラは信頼性が高く、ランニングコストが低く、他の処理モジュールとシームレスに接続できるように設計されています。それは正確なウェーハの位置および絶対反復可能な正確さのための使いやすいタッチ画面インターフェイスそして高度のサーボ制御技術を特色にします。このユニットには、ウェーハを2つまたは4つの部品に正確に分割するためのモーター式スプリッタと、完璧な配送を保証するプリアライメントを提供するガードバンドが内蔵されています。ウェーハ搬送装置は、低摩擦ローラーを備えた高精度のステンレス製ドライブベルトを使用し、コリメータープレートによる粒子発生を最小限に抑え、部品の静的蓄積を低減します。また、ウェハハンドリングシステムは、スリッページ検出を含む各カセットフレーム上の33ポイントまでの位置決めを完全に自動化し、ウェハハンドリング中のアラーム状態を警告するアラームユニットを提供します。このユニットには、ローディングとアンロードの前に各ウェーハをチェックするビジョンマシンと、ウェーハの向きを検出および調整して正確な配置と転送後のイメージングを保証する独自のウェーハハンドリングアルゴリズムが装備されています。BROOKS ATM-407B-2-S-CEウェーハハンドラは、信頼性の高い効率的な半導体生産環境を提供します。堅牢で信頼性の高いウェーハハンドリングとイメージング技術、信頼性の高いサーボ制御、フレキシブルスプリッタとガードバンド、簡単なユーザーインターフェースにより、PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CEはセミコン生産ニーズに優れたパフォーマンスを提供します。