中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE #9211143 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CEは、半導体製造環境のために設計されたウェハハンドラです。あらゆるサイズのウェーハキャリアの自動ロードおよびアンロードに最適なソリューションです。このウェーハハンドラは、ロードポートとプロセスツール間でウェーハを迅速かつ正確に転送できる印象的なロボットハンドルを誇っています。サーボモーターによって駆動される2つの独立したロボットアームを備え、滑らかで正確な動きを実現します。BROOKS ATM-407-2-S-CEは、オペレータ、ツーリング、および機器を保護するための安全機能の選択が装備されています。高度な安全インターロック装置は、ロードポートとツーリング上の検証センサーが検証され、適切な位置にある場合を除き、ロボットアームを移動させることはできません。また、エラーを検出し、損傷が発生する前にすぐにユニットをシャットダウンすることができる包括的な障害検出システムを持っています。PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CEは、高速ロボットドライブにより、1時間あたり最大150ウェーハを処理できます。フレキシブルウェハハンドリングマシンは、1平方インチあたり16までのシングルウェーハとクラスタに対応するように設計されています。ツーリングツールを搭載し、複数の標準ウェーハホルダーを簡単な切り替えで同じ設置で使用することができます。このウェーハハンドラにはコグネックスのビジョンアセットが含まれており、簡単に統合することができ、ウェーハを迅速かつ正確に識別できます。ビジョンモデルは、ローディングおよびアンロード中にウェーハの傷、チップおよびその他の損傷を正確に検出することができます。ブラシレスサーボモータと堅牢な機械設計のおかげで、ウェハハンドラは非常ATM-407-2-S-CEエネルギー効率が高くなります。電力定格はわずか370ワットで、1日24時間まで稼働できます。ウェーハハンドラは、そのIP43評価により、多くの産業用途に最適です。全体として、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CEは、大量の半導体生産環境に最適な、強力で信頼性の高いウェハハンドラです。使いやすい機能と高速ロボットドライブにより、ウェハハンドラはスループットの向上とコストの削減に役立ちます。