中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9363367 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305は、あらゆるタイプの半導体製造アプリケーションで使用するために設計された完全自動ウェハハンドラです。このウエハハンドラは、直径8インチのウエハーを一度に処理することができ、最大スループットのための高度で信頼性の高いウエハハンドリングプラットフォームを備えています。BROOKS ATM-305ウェーハハンドラは、自動半導体テスト、ソート、検査、デバイス包装、およびウェーハボンディングアプリケーションで使用するために設計されています。「ノータッチ」設計により、オペレータは手動でデバイスに触れることなくウェーハにアクセスでき、ハンドリングエラーや潜在的な汚染を最小限に抑えることができます。PRI AUTOMATION ATM-305は、接着剤ベースのウェーハとウェッジベースのウェーハの両方を自動的に処理することができます。接着剤ウェーハは、完全に調整可能な真空システムを使用して、ウェーハを確実に固定しながら搬送・加工します。ウェッジベースのウェーハは、ウェーハを両方向に加工されたチャックに収まるように設計されています。ATM-305はまた、統合されたオートメーション機能と技術の広い範囲を備えています。これには、強力な画像キャプチャと分析パッケージを備えた高度なビジョンシステム、複数のウエハータイプと直径をサポートするさまざまなハンドリングアルゴリズム、機械を迅速かつ簡単に構成するためのプログラム可能なオペレータインターフェイス、および柔軟性のための自動化されたツーリングチェンジが含まれます。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305には、多くの安全機能も含まれています。統合された安全インターロックは潜在的な危険からオペレータを保護します、十分に封じられたロボットアームは偶然の電気傷害を防ぎます、警告および停止警報は各場所に、また緊急停止スイッチあります。BROOKS ATM-305は、大容量の半導体加工アプリケーション向けに設計された最先端のウェハハンドラです。高度なウェーハハンドリングプラットフォーム、統合されたオートメーション機能、組み込みの安全機能により、信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングシステムをお探しのお客様に最適です。