中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9209887 を販売中
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BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305ウェーハハンドラは、半導体アセンブリ、テスト、およびパッケージング用途向けに設計された自動マテリアルハンドリング装置です。電気フィーダーアセンブリと統合ビジョンシステムを利用して、自動プロセス内でウェーハを正確にピックアップして配置する、エントリーレベルのウェーハハンドラです。このマシンはX-Y-Zモーター式ステージを備え、広範囲の動作を備えており、ウェーハピックアップ/配置ヘッドの正確な位置決めを提供します。ウェーハのサイズやその他の要因に応じて、毎秒50インチ以上の移動が可能な高速ウェーハアームを搭載しています。また、あらかじめ定義されたアルゴリズムや機能、プログラマブルな画像処理機能を備えた、直感的で高速なビジョンユニットを備えています。BROOKS ATM-305は最大限の柔軟性を提供し、ユーザーは再構成を必要とせずに複数のタイプの基板をロードすることができます。100〜300mmウェーハ、金属からプラスチック、ポリマーまで、ウェーハサイズや素材の様々な構成に対応できるように設計されています。最大300mm以上のウェーハ径に対応可能で、1時間に最大5,000個のウェーハを積載・納入できます。このマシンは、さまざまなプロセスポイントとインターフェースプロトコルをサポートしているため、既存のアセンブリ、テスト、およびパッケージングラインに簡単に統合できます。また、リアルタイムステータスモニタリング、データトラッキング、エラーレポートなどの高度なデータレポート機能、エラー数、サイクルタイム、転送速度、および対話時間の動的/静的レポート機能も備えています。さらに、PRI AUTOMATION ATM-305は、厳格な安全要件を満たすように設計されており、ツールと人員の完全な保護を確保しています。世界的に認められている安全性と品質基準に準拠しており、半導体生産環境でのアプリケーションに関連する通常の衝撃や振動に耐える非常に堅牢な設計を特徴としています。この堅牢な設計により、より長期的な信頼性が得られ、ダウンタイムの削減と一貫したプロセス・クリティカルなパフォーマンスの確保に役立ちます。
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