中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9164185 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305 Wafer Handlerは、半導体、ソーラーパネル製造、ウェハ検査、その他の高精度製造事業の輸送および処理ソリューションを提供するために使用される、高効率で信頼性の高いロボットハンドラーです。BROOKS ATM-305は、連結ロボットアーム、自動ウェーハ搬送装置、統合制御システムで構成されています。PRI AUTOMATION ATM-305の連結型ロボットアームは、振動を最小限に抑えて正確かつ正確な動きを提供することができます。6軸の運動には、線形および回転運動が含まれ、線形軸は最大200mm/秒の速度、回転軸は最大180度/秒の回転速度を提供します。モーションユニットは、非接触で正確かつ制御された動きを提供するように設計されており、製品の保護と信頼性を最大限に高めています。ATM-305の自動ウェーハ搬送機は、ロボットアームと完全に統合されており、ウェーハの処理または検査チャンバーへの信頼性と効率的な配送を提供します。デュアル方向のウェーハ搬送機能により、トレイやコンベアを必要とせず、ウェーハの安全で信頼性の高い配送を保証します。自動クリッピングツールを内蔵することで、搬送作業中もウェーハが確実に固定され、製品のスムーズで安全な配送が可能です。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305の統合制御資産は、すべてのロボットおよび転送コンポーネントの完全な制御と操作を提供し、ウェーハ処理プロセスを簡単かつ正確に制御できます。そのオープンアーキテクチャ設計により、外部システムとの迅速かつ容易な統合が可能となり、迅速なインストールと信頼性の高い操作が保証されます。さらに、BROOKS ATM-305は、プログラム可能なモーションパラメータ、自動入出力機能、外部ビジョンシステムとのインタフェースなど、さまざまなカスタマイズ可能な機能を提供します。全体として、PRI AUTOMATION ATM-305 Wafer Handlerは、ウェーハおよびその他の高精度部品の輸送および取り扱いに信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。その先進的な運動能力、堅牢な搬送モデル、および統合制御装置が組み合わされているため、半導体、太陽電池などの高精度製造工程に最適なソリューションとなります。