中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211145 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1は、大容量プロセス向けに設計された最先端のウェハハンドラです。自動化されたウェーハハンドラは、最大200mmのウェーハサイズに対応し、ウェーハツーウェーハマッチングとスタッキングが可能です。高速処理により、1時間に最大300個のウェーハを処理でき、最大60個のウェーハを同時に処理できます。装置はまた7つの異なった源からのウェーハを受け入れることができ、システムの3つの異なった部分にウェーハを移すことができます。BROOKS ATM-305-1は、ウエハハンドラのトップクラスの機能を備えています。それは信頼性および低い維持のために設計され、装置の操作そして長寿を監視するために組み込まれる多数のセンサーがあります。モジュール設計により、部品の保守が容易になります。さらに、ウェーハの位置決めに1 ± mの精度をμ、高精度で再現性に優れた設計となっています。PRI AUTOMATION ATM-305-1には、多くの安全機能もあります。ドアインターロックとEストップの両方で設計されており、オペレータが危険にさらされないようにし、緊急時には機械をすばやくシャットオフします。また、ウェーハを汚染から保護するためのエアシャワーも備えています。さらに、シャワー機能は、転送中にウェーハから粒子を除去するのに役立ちます。このツールには、ウェーハの取り扱いと転送に役立つ吸引機能も含まれています。ATM-305-1は、ウエハーを大量に処理するための優れた選択肢です。堅牢な設計、安全機能、高精度、柔軟性により、多種多様な大量プロセスに最適なソリューションです。そのE-Stopsおよびその他の安全機能により、安全な選択肢にもなります。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1のモジュラー設計は、メンテナンスを最小限に抑えた長期的な運用信頼性も保証します。BROOKS ATM-305-1は、大量のウェーハ加工に最適です。