中古 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211142 を販売中

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1 Wafer Handlerは、半導体の製造に使用されるような薄くて敏感なウェーハを使用するために設計された、よく設計された信頼性の高い自動化デバイスです。BROOKS ATM-305-1は、X軸とY軸の両方にエアベアリングを搭載した2軸ウェハハンドラです。これにより、優れた低摩擦ムーブメントと優れた位置精度を提供し、最大50ミクロンの総誤差で直径6インチまでのウェーハを処理することができます。PRI AUTOMATION ATM-305-1は、正確な位置にウェーハを設置するための3軸光学検出システムを搭載しています。ウエハを正確に揃えると、ハンドラは短時間で高精度なステップでウエハを移動させることができ、ハンドリング作業中に各ウエハを正確に配置することができます。このような微細な素材を使用するには、正確な位置決めが不可欠であるため、超薄型ウェーハの作業に特に役立ちます。ATM-305-1はまた、2つの非常に高トルクステッピングモーターを含むドライブモーターのセットが装備されており、ウェーハを安全かつ正確に動かすことができる安定した反復可能な力を提供します。また、コントロールセンサー、冗長セーフティ、オプションのイオン化エアーブローオフなど、さまざまな安全機能が搭載されています。これにより、ウェーハが安全かつ確実に処理され、ウェーハ損傷のリスクが低減されます。さらに、BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1は、さまざまなメンテナンスおよびサポート機能を提供します。これにはリモート診断と制御が含まれており、オペレータはPCまたはモバイルデバイスからハンドラーの状態を確認できます。さらに、このシステムにはさまざまなスペアパーツやコンポーネントがあり、オペレータは独自の修理や交換を行うことができます。BROOKS ATM-305-1ウェーハハンドラは、高精度で信頼性の高いモーションコントロール、安全機能、メンテナンスおよびサポート機能により、敏感なウェーハに最適です。このシステムにより、信頼性の高い正確な生産プロセスを実現し、各ウェーハのエラーや損傷を最小限に抑えて処理することができます。